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气动测微仪的量仪原理
日期：2024-04-27 17:45
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摘要：
气动测微仪通常由已知长度部分、定位瞄准部分、放大细分部分、显示记录部分以及计算部分等组成。量仪种类繁多，按工作原理可分为：①机械式量仪。如杠杆-齿轮式比较仪、扭簧比较仪和测微仪等。②光学量仪。如测微自准直仪、测角比较仪、平直度检查仪、立式光学计、卧式光学计、超级光学计、立式测长仪、万能测长仪、工具显微镜、投影仪、接触式干涉仪、激光干涉仪、激光干涉比长仪和光学分度头等。③电动量仪。如电动测微仪、静态光电显微镜、动态光电显微镜、光电准直光管、电感式比较仪、电容式比较仪、轮廓仪和圆度仪等。④气动量仪。如低压水柱式气动量仪、差压水柱式气动量仪、差压水银柱式气动量仪、高压薄膜式气动量仪、波纹管式气动量仪和流量式气动量仪（浮标式气动量仪）等。另外，量仪也可按用途等进行分类。量仪的精度评定方法主要有检定法、比对法和误差分离法等。
